제품 특징

• 반도체용 특수가스를 각 공정으로 분배하는 장비로
  비상시 자동 긴급차단, 소화를 통해 현장의 안전성을 확보한다.
  
  
  - Inlet 1~2 & Outlet 4~12
  - PLC + Touch Screen 기반의 자동화 시스템 (OMRON, AB, SIEMENS)
  - 모든 알람에 대한 사용자 설정 가능
  - 비상정지 (EMO)
  - S-Mark 안전인증
  - 상위 감시용 통신 지원
  - 방폭 type 적용 가능